书名：扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术
作者：工业和信息化部电子第五研究所、施明哲
ISBN：978-7-121-42877-7
出版社：电子工业出版社
出版日期：2022.03
本书从应用角度出发,介绍了扫描电子显微镜(简称扫描电镜)和X射线能谱仪(简称能谱仪)的基本原理及其在实际工作中的一些具体应用。全书包括上、下两篇和一些相关的附录。上篇包括第1～9章,主要论述了扫描电镜的原理、结构、操作要点和应用中几种常见的图像质量问题,以及改善图像质量的应对方法和措施,列举了多种电子元器件在电应力和环境应力作用下的一些失效案例,介绍了扫描电镜常用的几种维护保养方式、方法。除此之外,还提出了选择安装场地的几点注意事项,供新用户在规划和选择安装场地时参考。下篇包括第10～18章,主要介绍了能谱仪的原理、数据采集和处理及具体的应用技术,包括Si(Li)与SDD新旧两种能谱仪探测器芯片的结构和基本原理,以及能谱仪在定性、定量分析中常遇到的棘手问题及相应的处理方法,还简略地介绍了罗兰圆波谱仪和平行光波谱仪的原理及各自的特点。附录收录了真空压力单位换算表,以及能谱分析中可能会出现且易被误判假峰的参考表,还加入了部分与扫描电镜和能谱分析有关的标准号。本书具有较强的实用性,可作为专业的扫描电镜应用和操作人员的培训用书,也适用于从事扫描电镜维护、保养的工程技术人员和科研院所及工矿企业的质量检测人员参考,亦可供理工科院校相关专业的本科生和硕士生阅读、参考。