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![]() 原子层沉积制造技术及生物传感应用_刘磊_化学工业出版社,2024.03
价 格:¥ 25.80
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书名:原子层沉积制造技术及生物传感应用
作者:刘磊 ISBN:978-7-122-45124-8 出版社:化学工业出版社 出版日期:2024.03 本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用,共分7章,主要内容包括原子层沉积(ALD)技术的基本原理、特点、系统和工作模式,聚焦于ALD技术的拓展,涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用,重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展,在阐明ALD技术基本原理的同时,介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。 本书可供微纳制造与传感检测等领域的技术工作者阅读使用,也可作为高等院校相关专业师生的参考书。 免责申明:
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