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 微系统光学检测技术_王伯雄_机械工业出版社,2014.08.28
价 格：¥ 25.80
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书名：微系统光学检测技术
作者：王伯雄 ISBN：978-7-111-45837-1 出版社：机械工业出版社 出版日期：2014.08.28 微系统光学检测技术 国际制造业先进技术译丛微系统光学检测技术［德］伏尔夫岗·奥斯腾主编 王伯雄等译机械工业出版社 微系统的尺度小，材料组合性强，功能多，对它的测量与检测构成了该领域新的挑战。本书内容丰富，覆盖面广，汇聚了各国知名大学共28位作者的卓越成果。书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术，主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术，同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。 本书是微纳米检测领域一本不可多得的参考书，适合从事微纳制造、微系统检测的科技人员、高等院校相关研究方向的师生参考使用。 Optical Inspection of Microsystems/by Wolfgang Osten/ISBN:9780849336829 Copyright2007 by CRC Press. Authorized translation from English language edition published by CRC Press,part of Taylor & Francis Group LLC；All rights reserved； 本书中文简体翻译版授权由机械工业出版社独家出版并限在中国大陆地区销售，未经出版者书面许可，不得以任何方式复制或发行本书的任何部分。 本书封面贴有Taylor & Francis公司防伪标签，无标签者不得销售。 北京市版权局著作权合同登记图字：0120074184号。 免责申明：
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