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书名：半导体器件TCAD设计与应用
作者：韩雁
页数：
ISBN：978-7-121-19342-2
出版社：电子工业出版社
出版时间：2013.01
内容简介：
本书作者为浙大微电子所副所长。 ☆ 提供配套电子课件 ☆ 在写作方式上，侧重于TCAD技术的应用 ☆ 选取主流TCAD软件，每部分的主体设计流程均经过流片和测试验证，应用于实际科研工作中，具有较强的代表性和实用性 通过学习本书，你可以： 利用数值模拟技术进行半导体工艺及器件性能仿真 熟悉工艺仿真工具的优化使用 设计集成电路片上ESD防护器件 设计功率半导体器件 在较短时间内以很小的代价设计出合乎要求的半导体器件
本书主要内容包括半导体工艺及器件仿真工具Sentaurus TCAD，工艺仿真工具TSUPREM-4及器件仿真工具MEDICI，工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD，工艺及器件仿真工具ISE-TCAD，工艺仿真工具(DIOS)的优化使用，器件仿真工具(DESSIS)的模型分析等。 免责申明：
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