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 一本书读懂芯片制程设备_王超、姜晶、牛夷、王刚_机械工业出版社,2023.02
价 格：¥ 25.80
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书名：一本书读懂芯片制程设备
作者：王超、姜晶、牛夷、王刚 ISBN：978-7-111-72041-6 出版社：机械工业出版社 出版日期：2023.02 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域(集成电路及专用设备)等重大需求,编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石,是各国竞相角逐的“国之重器”,也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备位于集成电路产业链的最上游,贯穿芯片制造全过程,是决定产业发展的最关键一环。本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备,并着重分析了芯片制程设备的国内外市场环境;然后,针对具体工艺技术涉及的设备,详细综述了设备原理及市场情况;最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。本书可为制造业企业和研究机构提供参考,也可供对集成电路芯片制程设备感兴趣的读者阅读。 免责申明：
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