集成电路工艺实验_谭永胜、方泽波_成都电子科技大学出版社,2025.01
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书名:集成电路工艺实验
作者:谭永胜、方泽波
ISBN:978-7-5770-1376-3
出版社:成都电子科技大学出版社
出版日期:2025.01
本实验教材按一个完整的半导体集成电路工艺过程工艺作用来讲述,将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的实验项目。学生真正掌握了这些实验的方法,熟悉各大型设备的实际操作,即可在工艺线上单独流片,制造出合格的、结构较简单的集成电路芯片。本书是为微电子科学与工程专业本科生编写的集成电路工艺实验教材,也可作为太阳能光伏专业、光电子专业等相关专业的教材,还可作为太阳能电池、LED芯片制造等半导体分立器件行业相关工程技术人员的培训教材或参考书。
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