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 芯片制造——半导体真空技术与设备_陈译，陈铖颖，张宏怡_机械工业出版社,2025.12.18
价 格：¥ 25.80
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书名：芯片制造——半导体真空技术与设备
作者：陈译，陈铖颖，张宏怡 ISBN：978-7-111-79813-2 出版社：机械工业出版社 出版日期：2025.12.18 真空技术是支撑各行业的基础技术之一，其应用范围非常广泛，从食品工业到航天工业均受益于此，半导体产业也是如此。真空技术是实用学科，需在实践中掌握。尽管其理论体系复杂，本书仍力求在保留理论框架的同时简化表述，并尽量避免公式堆砌，以逻辑化、体系化的方式解读半导体真空技术。虽因篇幅限制有所取舍，但希望能助力更多工程师学以致用。本书旨在搭建一座学习的桥梁，通过“理论-案例-实践”的完整链条降低学习门槛，并填补半导体专用真空技术领域相关图书的空白。 本书面向半导体生产线的设备工程师和工艺工程师，以及高等院校半导体与集成电路相关专业的高年级本科生和研究生，同时也适合资深从业者重温真空技术，对半导体设备供应商及其他产业链相关企业也有参考价值。 免责申明：
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