无驱动结构微机械陀螺及其应用_张福学,张伟著_国防工业出版社,2013.12
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书名:无驱动结构微机械陀螺及其应用
作者:张福学,张伟著
ISBN:978-7-118-08905-9
出版社:国防工业出版社
出版日期:2013.12
本书共四篇,第1篇共5章,主要介绍无驱动结构转子型振动陀螺仪的数学模型、精度、性能、运行误差和实验研究。第2篇共6章,主要介绍微电子机械系统的电子材料及其加工处理;MEMS用材料及其制备;标准微电子工艺;硅体的微机械加工;硅的表面微机械加工,MEMS的微立体平版光刻技术。第3篇共5章,主要介绍微机械加速度计与陀螺仪;旋转飞航弹用无驱动结构硅微机械陀螺仪的工作原理;旋转飞航弹用无驱动结构硅微机械陀螺仪的误差、相移、性能实验。第4篇共2章,主要介绍无驱动结构微机械陀螺的信号解调;高速旋转飞航弹姿态传感器的应用。
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